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1.微电子科学与工程
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金融界2024年10月22日消息,国家知识产权局信息显示,歌尔微电子股份有限公司申请一项名为“传感器及电子设备”的专利,公开号CN 118764791 A,申请日期为2024年6月专利摘要显示,本发明提供一种传感器及电子设备,属于传感器技术领域,传感器包括基板,分别安装于基板的MEMS芯片和压电材料层,压电材料层能够在基板的变形下发生形变并输出电压信息;以及ASIC芯片,ASIC芯片分别与压电材料层和MEMS芯片信号连接,ASIC芯片用于接收电压信息,并根据电压信息调节MEMS芯片的偏置电压,通过偏置电压的调节来调节MEMS芯片的振膜的应力,以此来减小或抵消由于基板变形造成的MEMS芯片的振膜应力的变化,使得振膜的应力变化减小或者不变化,以此来确保传感器的灵敏度。
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