目录：

1.防微振机台有哪些企业

2.防微振设计

3.防微振动控制标准

4.防微振基台

5.防微振设计规范

6.防微振规范

7.防微振等级划分

8.防微震vc-c

9.芯片厂房防微振

10.防微振机台

1.防微振机台有哪些企业

方钉百科

2.防微振设计

编者按请问你们群里面平时都有做交流讨论吗？回复：我们所有群执行每日一议制度，群里面每天都会进行一个议题的讨论交流交流促成长，分享共进步这里是洁净厂房设计和施工俱乐部，今天分享的是按照《厂房楼盖抗微振设计规范》

3.防微振动控制标准

GB50190-93及《电子工业防微振工程技术规范》 GB 51076-2015相关要求，梳理相关结构防微振措施，如下

4.防微振基台

一、结构布置及设备布置相关要求6.2.3 主体结构的防微振设计应符合下列要求：1 集成电路制造厂房前工序、液晶显示器件制造厂房、光伏太阳能制造厂房、纳米科技建筑及各类实验室等建筑宜采用小跨度柱网，工艺设备层平台宜采用钢筋混凝土结构。

5.防微振设计规范

平台与周围结构之间宜设隔振缝2 防微振工艺设备层平台的设计应符合下列要求：1)平台下的柱网尺寸应以0.6m为模数，跨度不宜大于6m；2)平台宜采用现浇钢筋混凝土梁板式或井式楼盖结构，亦可采用钢框架组合楼板结构；。

6.防微振规范

3)混凝土平台的现浇梁、板、柱截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-1的规定；表6.2.3-1 梁、板、柱截面的最小尺寸柱截面（mm×mm）主梁高跨比梁板式楼盖井式楼盖板高跨比次梁高跨比板厚（mm）次梁高跨比

7.防微振等级划分

600×6001/81/201/121501/15        4)防微振工艺设备平台现浇华夫板次梁的间距为1.2m时，截面最小尺寸宜符合表6.2.3-2的规定；表6.2.3-2 华夫板截面的最小尺寸

8.防微震vc-c

次梁高跨比主梁高跨比板厚（mm）板开洞直径d（mm）1/101/8180300        5)采用钢框架-组合楼板结构的防微振工艺设备层平台，次梁间距不宜大于3.2m，钢梁、组合楼板截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-3的规定；

9.芯片厂房防微振

表6.2.3-3 钢梁、组合楼板截面的最小尺寸次梁高跨比主梁高跨比板厚（mm）1/181/12250        6)防微振工艺设备层平台华夫板的开孔率应满足洁净设计要求，不宜大于30％    3 当采用混凝土结构的建筑物超长时，。

10.防微振机台

不宜设置伸缩缝，而应采用超长混凝土结构无缝设计技术，并应采取降低温度伸缩应力的措施    4 根据防微振需要，可在平台下的部分柱间设置钢筋混凝土防微振墙，墙体宜纵横向对称布置，厚度不宜小于250mm，墙体不宜开设孔洞。

    5 当屋盖多跨结构的中柱与工艺设备层平台之间设缝时，在非地震区，缝宽不应小于50mm；在地震区，缝宽不应小于100mm，且应符合现行国家标准《建筑抗震设计规范》GB 50011中防震缝的有关规定。

6.2.4 精密设备及仪器的独立基础设计应符合下列要求：    1 地面上设置的精密设备及仪器，基础底面应置于坚硬土层或基岩上其他地质情况下，应采用桩基础或人工处理复合地基；    2 精密设备及仪器受中低频振动影响敏感时，基础周围可不设隔振沟；。

    3 精密设备及仪器的基台采用框架式支承时，宜采用钢筋混凝土框架，台板宜采用型钢混凝土结构，其周边应设隔振缝；    4 工艺设备层平台上设置的精密设备或仪器宜采用防微振基台，台板宜采用型钢混凝土结构，厚度不宜小于200mm。

7.1.1  有抗微振要求的多层厂房，设备的布置应符合下列规定∶（1）厂房中有强烈振动的设备或对振动很敏感的设备和仪器宜布置在厂房底层；（2）厂房中有较大振动的设备或对振动敏感的设备和仪器，宜靠近承重墙、框架梁及柱等楼盖局部刚度较大的部位布置；。

（3）厂房内同时布置有较大振动的设备和对搬动敏感的设备、仪器时，宜分类集中，分区布置，并利用厂房变形缝分隔；（4）对振动敏感的设备和仪器，应远离有较大振动的设备；（5）厂房中有水平扰力较大的设备的，宜使其扰力方向与厂房结构水平刚度较大的方向一致。

7.1.2  多层厂房中设有对振动敏感的设备和仪器时，不宜设置吊车7.3.5  厂房底层设有强烈振动的设备时，应设置独立基础，并应与厂房基础脱开二、计算要求按照厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93相关规定进行自振频率及竖向振动加速度验算。

三、构造要求1、砌体结构通用规范 GB 55007-2021中关于存在振动时结构中砌体相关规定3.2.9、下列部位或环境中的填充墙不应使用轻骨料混凝土小型空心砌块或蒸压加气混凝土砌块砌体：1建（构）筑物防潮层以下墙体；

2长期浸水或化学侵蚀环境；3砌体表面温度高于80℃的部位；4长期处于有振动源环境的墙体4.2.5、厂房、仓库、食堂筹空旷单层房屋应按下列规定设置圈梁：1砖砌体结构房屋，檐口标高为5m~8m时，应在檐口标高处设置一道圈梁，檐口标高大于8m时，应增加设置数量；。

2砌块及料石砌体结构房屋，檐口标高为4m～5m时，应在檐口标高处设置一道圈梁，檐口标高大于5m时，应增加设置数量；3对有吊车或较大振动设备的单层工业房屋，当未采取有效的隔振措施时，除应在檐口或窗顶标高处设置现浇混凝土圈梁外，尚应增加设置数量

。参考文献电子工业防微振工程技术规范 GB 51076-2015厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93动力机器基础设计规范GB50040-96砌体结构通用规范 GB 55007-2021

1．引言近年来高科技产业在国内经济发展上有着举足轻重的作用，半导体晶片、TFT-LCD平面显示等大型的厂房也在国内不断的兴建，规模也在不断的扩大随着各种高科技产业制程越来越精密，相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。

在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动，如检验设备SEM、SPM、TEM、曝光设备scanner、stepper、椭圆偏光仪等等，几乎每一台设备都需要安装隔振系统正因为如此，洁净室工艺设备防微振平台施工显现的尤为重要。

2．工法特点2.1 需要设立防微振动平台的设备是比较精密的设备，一般放置在洁净室内，施工作业时需要注意安全、清洁；本工法采用材料均为钢结构，不易产尘，从长期使用角度讲有利于洁净度的保持2.2 随着生产工艺的不断提高，生产设备对其基础的振动要求也越来越高，厂房内的活动地板已经不能满足，需要安装隔振系统。

防微振动平台的设立，解决了这个问题2.3 由于平台与厂房内的活动地板是相隔开的，大大堵隔了除设备本身以外的其他振动，减少了环境振动对设备的影响，使得生产能够平稳高效的运行因而防微振动平台也被形象得称为独立基础。

2.4 钢平台的施工相对其他平台而言，施工周期比较短，安装比较简单，能更早地使生产设备投入生产拿混凝土平台做对比，其安装时间一般在4~6周，而钢平台的安装周期一般在2~3周，施工的时间上缩短了一半而且钢平台在厂房内运输时为散件，无需整件运输，相对比较安全，减少更为复杂的安全保护措施。

3．适用范围适用于经过调试并已经具备一定洁净度等级的洁净厂房内，对基础有一定微振动要求的设备4．工艺原理将平台设立在地面或者格栅板上，与原有的活动地板分离，使之不与活动地板相互传递振动，阻隔相邻设备所产生的防微振。

通过自身的结构构造，将防微振动控制在振动规范或设备对基础的要求之内，能够独立吸收来自设备本身运作产生的振动的能量，避免洁净室建筑结构（比如楼板、梁等）所产生的防微振动对其产生影响5．施工工艺流程及操作方法

5.1施工工艺流程施工前期准备→确定设备以及平台安装位置→平台加工→平台搬运及组装→平台试验5.2操作方法5.2.1施工前准备施工前的准备工作尤为重要，他关系到后面的安装的精确程度施工前对图纸进行认真解读和审核，防微振动平台一般采用不锈钢材料和镀锌材料制作。

对加工件的要求很高，要求加工件精确到位，这样才能保证安装的一次性完成具体作业流程如图5.2.1所示

施工中应该注意以下几点：根据平台大小、安装精度、劳动强度来配备所需人员，并理清楚个人员之间的劳作关系，制定组织结构，明确工作的内容和责任针对平台安装进行技术交底，对进入洁净厂房施工作业的人员进行洁净室施工作业培训、安全教育。

人员配置完成后，分解图纸，统一规划需要加工的零部件比较多，将图纸上的零部件编号根据图纸，配置所需的机具，要使用大型加工机具的（如：电子数控机床等），需与相应的协作单位联络，确定加工周期组装件连接方式尽可能以螺丝连接为主，因为洁净厂房内一般不采用焊接作业，而且洁净厂房里面设备比较多，整件不易搬运。

 5.2.2确定设备以及平台安装位置在前期的准备工作完成后，班组作业人员需要到洁净室内与工艺设备工程师一起确定设备的位置，并将平台的相对应的位置确定好，并做好标示再将确定的位置用线锤反到地面或者格栅网板（也有称华夫板）上（如图。

5.2.2-1所示），做好标示。再右平台的位置确定平台立柱的位置，并核实其位置可使立柱稳固。

设备位置的确定以及反线的精确度要求控制在±1mm内，精度控制的越好，安装就会越准确。

作业中还应该注意，要遵守洁净厂房的规定，进入洁净室的材料必须是经过洁净处理的，图纸需要用洁净纸打印，并且用圆珠笔进行厂房里面的相关记录在确定平台的立柱的位置时候要注意立柱所在的位置要能够让立柱稳固，这样才能承受设备的重量和震动。

如果发现立柱的位置在格栅网板的边缘时，应该立即修改设计图纸，将所有的配件重新更改在厂房内作业是应该做好安全警示，并有人专门看守地板掀开处，防止人员掉落地板下在确定平台的搬入路径后，确定路线上的其他设备的保护措施，并提请采购材料。

5.2.3平台加工平台加工是在前期的准备工作最为重要的一道工序，如果加工件有偏差，会给后面的安装环节带来非常大的影响，甚至于不能完成安装立柱的材料一般采用镀锌钢管制作或者直接用工字钢制作，均需要精确加工。

加工流程详见图5.2.3 平台用的不锈钢钢板比较厚，而且平台上为了固定设备需要常要求加工不同形状的孔洞，所以外型的加工都是采用外加工的方法，使用大型的激光切割机进行加工需要外加工的工序还有“喷沙”和“加工件镀锌

”。因为加工件比较零散、数量较多，所以需要在加工前进行清点，并且编上一图纸一致的编号加以区别。在加工过程中，数量比较多的部件需要制作模板，批量加工，提高加工的时效。

5.2.4平台搬运及组装平台组装是在洁净室内操作完成，且要跟平台的加工材料的搬运相互配合，即搬运为了组装服务，而不是一味地将所有的材料搬运到洁净厂房内堆积起来搬运之前将搬运通道上的设备、壁板等用预先准备好的铝板或者不锈钢板保护起来，避免搬运过程中对现有洁净设备和生产设备的损坏。

平台组装区域预先用洁净塑料布与其他区域隔断，尽可能将施工过程中对原有洁净度的损害降到最低拆除原来的活动地板，保留地板的横担或者工字钢，不破坏原有活动地板的整体性和强度将拆除的活动地板摆放整齐，不能损坏将反线下来的平台的立柱线打孔，打孔时会产生灰尘，需要边打孔边用吸尘器将产生的灰尘吸除，避免污染厂房内的洁净环境。

在打好的孔内灌入AB胶，粘上底座粘接方法如图5.2.4-1所示安装时，先固定中间的螺丝，使用水平尺将水平调整好，然后加灌AB胶，固化固化时间需要12小时左右，其间需要间隔2小时检查一次底座的水平度

待AB胶固化完成后，在底座上安装立柱，连接方式为丝扣连接所有的立柱的高度必须一致，即安装是使用经纬仪调整标高，误差控制在±0.5mm在立柱上安装工字钢工字钢共分为两层，呈井字型布置洁净厂房内不允许焊接操作，工字钢与立柱连接、工字钢与工字钢连接均为连接件连接，不采用焊接连接。

安装完成后用水平尺复核水平度注意，第二层工字钢的高度要大于活动地板原有横担或者工子钢，使平台与原有的活动地板分开；工字钢的长度要长于不锈钢板，有利与钢板的稳固，便于斜拉的安装；长出的工字钢在与原活动地板交叉处必须切口，保证其与原地板不接触。

安装不锈钢板不锈钢板比较大，运输中一定要注意平稳，并做好地板、壁板和设备的保护措施在工子钢中部涂抹适量AB胶，在AB胶凝固之前上不锈钢板不锈钢板与工字钢的连接采用螺丝的连接方式，连接必须紧固用水平尺复核水平度。

将拆除的活动地板恢复在洁净室内将需要加工的地板量好尺寸，并做好标识将地板取出洁净室，切割成需要的大小，去除毛刺经过洁净处理后，安装地板，地板与平台的不锈钢板的间距控制在10mm为宜使用斜拉加工立柱为了保证抗振效果以及立柱的牢固，需要在立柱上加设斜拉。

两侧的斜拉一端与工字钢连接件连接，一端以螺丝连接的方式连接在粘接于地面或者格栅网板的立柱底座上（与立柱连接同样的方法）中间段的斜拉一端固定在第一层工字钢上，一端固定在立柱低部斜拉以纵向、横向相互配合来加固，用以消除各个方向的水平振动。

5.2.5振动试验振动试验主要分三次试验：环境防微振动试验、人员步行试验和动态刚度试验。测试规范如表1所示

需要说明的是：测试是以1/3的频谱分析频宽8~100HZ的振动植（dB值的参考速度值为10-6in/sec加工尺寸是参考电子制造业的线宽、医学和药学研究的粒子或者细胞尺寸等，所列数值是药学研究和精密设备的振动观察值。

本规范只是对一般设备的防微振动要求作参考，精密设备一般自身会对振动有要求5.2.6劳动力组织（见表2）

6．材料与设备本工法所使用的材料均为不锈钢材料，或者是镀锌材料，必须满足国标和设计要求，有出厂合格证及相关证明文件不锈钢钢板，SUS304，要求整张切割，外型尺寸根据设备的大小而定要求板材平整，表面无油，周边无毛刺。

满足设计及规范要求，有出厂合格证及相关证明文件镀锌工字钢（或者镀锌钢管）及多孔角钢，镀锌表面无划痕满足设计及规范要求，有出厂合格证及相关证明文件连接件，全部镀锌处理，要求锌层匀称无划痕，无油污采购的加工板材有出厂合格证及相关证明文件。

AB胶，为混合用胶，分为主剂和固化胶，按照使用说明的比例进行混合，凝固时间8~12小时。产品需提供出厂合格证及相关证明文件。其他材料为常用资材，不作说明。使用的机具设备见表3 

7．质量控制7.1使用的材料要符合设计要求和《洁净厂房设计规范》GB50073-2001、《洁净室施工及验收规范》JGJ71-90、《建筑工程施工质量验收统一标准》 GB50300—2001等防微振动平台制作和安装过程中允许偏差如表。

4所列

 7.2质量保证措施 7.2.1材料采购过程中要严格检查，所有投入施工的材料，均应按图纸及有关文件要求对材料的标识、名称、材质、型号、规格、数量等进行验证，防止误用未经检验或经检验不合格以及不符合图纸要求的其它材料、配件。

 7.2.2加工件制作过程中质检员要全程监控，对加工件进行全数检查，对不合格件进行排查，并做好记录，确保所有的加工件均为合格产品； 7.2.3板材外加工需要长距离运输，在运输前要做好保护措施，在钢板下面用软性材料垫撑，确保板材不会因为受外力不均匀导致变形；

 7.2.4安装是自下而上，层层核实检查，达标后方进行下道工序施工作业，上道工序不合格不能转入下道工序抓住关键工序的作业，保证施工质量，如AB胶粘接底座、工字钢安装、不锈钢板安装等施工中合理安排，材料堆放整齐。

7.2.5严格对施工机械和检测仪器、测试设备、计量器具的使用与管理制度，所有投入施工的设备应事先做好维护、保养及性能试验工作，使设备以良好的使用性能和工作质量来保证质量各种检测仪器及器具应检验合格，以保证检测仪器。

测试设备和计量器具数据正确无误8．安全措施8.1认真贯彻“安全第一，预防为主”的方针，严格教育、管理和监督机制，切实做到安全生产对每个员工进行安全教育，保证全体员工针对平台施工的安全知识、安全意识和观念，确保安全管理的有效执行；。

8.2对所有的施工机具进行安全审查，挂牌作业专业机具张贴安全操作规程，杜绝不正当操作临时用电严格按照《施工现场临时用电安全技术规范》的有关规定执行检查施工电源线，确认无误方可带进洁净室内使用，并与业主确定电源的插口。

8.3施工作业中，做好安全警示开地板作业做好维护，特别是长时间施工点，挂好安全警示牌材料堆放点张贴安全警示标语8.4洁净室内手持照明使用36V安全电压9．环境控制9．1加工场地环境控制9.1.1 加工场地指定废料堆场，用瓦楞板维护，作为加工废料的堆场，废料统一处理；

9.1.2 加工场实行卫生值日制度，每天四人轮流值日，工作内容包括场地清洁和物料整理；9.1.3在加工场临时堆放的待加工物料需按类堆放整齐；9.1.4 加工场用电必须遵守有关工地用电的安全章程和审批手续；

9．2施工现场环境控制9.2.1 施工现场的环境管理归口EHS部门；严格遵守各项管理和规章制度，按程序办事洁净室内施工需严格遵守洁净室施工作业规章；9.2.2 做到工完料尽施工班组配备清扫工具，下班前将施工现场进行清扫，施工产生的废料和垃圾运至指定地点；。

9.2.3洁净室内施工容易产生灰尘，需要做隔断处理10．结论10.1本平台采用了钢结构形式，材料均采用常用的不锈钢和镀锌材料，采用了数控机床进行精确加工，以及新型AB胶固定立柱等新工艺，使得工程的加工精度和安装水平得到提升，填补了国内安装企业在该领域的空白。

10.2防微振动平台的安装有消得控制了基础自身以及从其他设备或人员等产生的振动，使设备在其允许的振动要求下运行，使产品的合格率大大提高10.3从结构形式上讲，钢结构的形式相对于其他形式，如混凝土平台而言，无须大量采用化学用品，避免了化学品的处理环节，更加环保。

平台可以散件现场组装，减少安装的难度，相对更加安全平台全部采用连接件连接，拆卸比较方便，且拆除后可以进行再组装，比较灵活10.4工期比较短，比较其他平台（如混凝土平台）的施工，工期可以缩短一半，人力资源的投资比较少，降低了工程的人工成本。

由于节省了安装时间，设备能及早的调试运行，带来显著的经济效益1 某微电子厂房概况浙江金华某两层微电子厂房，上部结构于2011年上半年施工完毕，一层层高7m，地坪还未施工要求在地面上安装10台高精密步进光刻机，光刻机厂家要求周围地面振动对基础的影响：竖向振幅≤3μm，振动速度≤0.1mm/s，外界干扰频率在4hz～25hz时振动加速度≤4×10-3～8×10-3m/s2。

厂房地基土层情况如下：场地属丘陵地貌经人工填平后，东高西低①层碎石填土，层厚1.2-10.5m，松散状，稍湿，由风化岩碎块石夹少量粘性土，为新进堆填，未经分层压实和自重固结②层粉质粘性，层厚0.4-3.1m，中压缩性。

③层强风化泥质粉砂岩，层厚4-8.5m，为极软岩④层中风化泥质粉砂岩，层厚0.2-1.5m，为软岩厂房四周为厂区道路，常有汽车等行驶地下水位在地面5m以下，老厂房柱下采用人工挖孔灌注桩基础，桩端持力层为。

④层中风化泥质粉砂岩，承台底标高-2.2m2 桩基用于防微振设计的分析研究本次光刻机基础设计时，乃是考虑采用桩基直接用于防微振，且为考虑桩土共同作用的一个新尝试与用钢弹簧隔振相比，基础块体增大不多，但省去弹簧和放置隔振系统的钢筋混凝土地坑，总费用减少很多，且施工简单，以后无维修及更换烦恼。

3 光刻机基础防微振设计的原理光刻机基础防微振设计首先应尽量通过总体工艺流程与平面布置，对振源采取有效的主动隔振措施，使它的干扰影响尽量小为避免共振，应根据场地的工程地质情况与周围有影响的振源振动情况，对地基进行有效、合理的处理，以提高防微振设备基础体系的竖向抗压刚度，使体系的固有频率适度地超过周围已有及将来可能会有的振源的强迫振动频率[4]。

另外，根据振源振动对于地层的干扰，以及振动波的能量在土中传播衰减后对基础振动体系的干扰，采取有效的被动隔振措施，使光刻机基础底座竖向振幅小于允许值，振动速度最大值小于允许值，以及在一定外界干扰频率范围内的振动加速度最大值小于允许值[5]。

本工程动力模型中，将承台及其上光刻机看作一个质量为m的刚体[6]，将桩基及其间土层看作没有质量的弹簧，简化为研究支承在弹簧上刚体的振动问题，弹簧的刚度即桩基及其间土层的竖向抗压刚度，底座即桩端以下的④层土。

底座的振动是由于附近振源的振动能量在土中传播至底座引起的，由于桩基及其间土层整体刚度较大，因此经土层衰减传播来的能量干扰影响很小，引起它发生的振动也是很小的4 光刻机基础防微振设计10台高精密步进光刻机，其基础做成独立的、与周围地面完全脱开的、由群桩支承的整板式钢筋混凝土基础。

这主要根据地质情况、周围振源的振动干扰情况、地面使用荷载、机器与仪器的底座允许最大振幅很小（3μm）而确定的桩型、桩持力层、桩断面尺寸、单桩承载力试验、布桩原则同一般桩在确定桩数时，必须确保防微振设备基础体系的固有频率一定要适度超过周围已有振源和将来可能会有振源的强迫振动频率，不发生共振现象，同时必须满足基础沉降均匀。

根据工艺平面布局，每台步进光刻机外形尺寸2500（长）×2000（宽）×3000（高），单台总重5200kg最终采用的由群桩支承的整板式钢筋混凝土基础，其整板厚度1000mm， c25混凝土，整板下总计10根900直径的c25挖孔灌注桩。

整板基础四周设置300mm宽减振沟内填中粗砂，整板基础与建筑地坪设缝50mm脱开5 防微振基础的现场测试防微振工程的测试应分四次进行[7]10台光刻机基础于2011年下半年施工完毕后，请当地地震局专家到现场测试，结果表明光刻机底座的振幅小于允许振幅，振动速度最大值小于允许值，以及在一定外界干扰频率范围内的振动加速度最大值小于允许值。

光刻机安装后运行正常，说明设计是成功的6 结束语1、光刻机防微振基础宜安置在直接与地基土接触的底层，应做成独立的、周围与地面完全脱开的整板式基础，本文采用桩基直接用于防微振基础设计，是一新尝试，已获成功，今后似可推广应用。

2、光刻机防微振基础设计最关键的问题是确保不发生共振现象，通过主动隔振和被动隔振等措施，尽量减小周围振动的干扰3、由于场地周围振源振动干扰的复杂性及其在土中传播衰减的不规则性，目前部分计算公式为较近似的，或半经验半理论的。

因此，光刻机防微振基础设计主要依靠的是概念设计、现场测试以及工程实践经验欢迎您加入洁净厂房设计和施工俱乐部学习交流互动社区该公众号的意义在于：倒逼自己输出，强迫自己成长；我追求每天成长一点点，如果你认可。

我们一起携手同行！我是小陈，在成为大神的路上努力着！如果您觉得本微信公众号对你帮助很大的话，那就赶紧和同事分享关注吧，您的关注，是我们不断更新的动力!欲得知更多此类信息，可关注公众号，如果您有洁净厂房设计、

建设和运行方面的问题，也可以直接加我微信号:13437107406,还可以发送邮件至343137830@qq.com共同探讨，共同进步欢迎您加入洁净厂房设计和施工俱乐部学习交流社区

行业万人群通讯录

洁净厂房设计和施工俱乐部专业为洁净室行业各类企业提供各类服务我们现在的业务：1.提供各类技术咨询服务（含可行性研究报告、安全设施设计专篇、职业卫生设施设计专篇、方案设计、施工图设计、方案优化、施工图优化、BIM、工程预算造价、工程定额清单编制、标书制作、洁净度温湿度不达标等相关技术咨询、建筑结构水暖电等各专业疑难杂症等技术咨询）

2.各网络平台、微信推广、公众号推广、视频号推广、品牌市场推广、广告代理等服务3.人员招聘广告投放4.工程项目人员团队技术支持技术咨询5.定期俱乐部线下会议举办会议招商6.EPC/总包/专业分包/设备/材料供应商推荐。

加我个人微信号：13437107406，拉你进洁净厂房设计和施工俱乐部各专业微信群。

方钉百科

目录：

1.防微振机台有哪些企业

2.防微振设计

3.防微振动控制标准

4.防微振基台

5.防微振设计规范

6.防微振规范

7.防微振等级划分

8.防微震vc-c

9.芯片厂房防微振

10.防微振机台

1.防微振机台有哪些企业

方钉百科

2.防微振设计

编者按请问你们群里面平时都有做交流讨论吗？回复：我们所有群执行每日一议制度，群里面每天都会进行一个议题的讨论交流交流促成长，分享共进步这里是洁净厂房设计和施工俱乐部，今天分享的是按照《厂房楼盖抗微振设计规范》

3.防微振动控制标准

GB50190-93及《电子工业防微振工程技术规范》 GB 51076-2015相关要求，梳理相关结构防微振措施，如下

4.防微振基台

一、结构布置及设备布置相关要求6.2.3 主体结构的防微振设计应符合下列要求：1 集成电路制造厂房前工序、液晶显示器件制造厂房、光伏太阳能制造厂房、纳米科技建筑及各类实验室等建筑宜采用小跨度柱网，工艺设备层平台宜采用钢筋混凝土结构。

5.防微振设计规范

平台与周围结构之间宜设隔振缝2 防微振工艺设备层平台的设计应符合下列要求：1)平台下的柱网尺寸应以0.6m为模数，跨度不宜大于6m；2)平台宜采用现浇钢筋混凝土梁板式或井式楼盖结构，亦可采用钢框架组合楼板结构；。

6.防微振规范

3)混凝土平台的现浇梁、板、柱截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-1的规定；表6.2.3-1 梁、板、柱截面的最小尺寸柱截面（mm×mm）主梁高跨比梁板式楼盖井式楼盖板高跨比次梁高跨比板厚（mm）次梁高跨比

7.防微振等级划分

600×6001/81/201/121501/15        4)防微振工艺设备平台现浇华夫板次梁的间距为1.2m时，截面最小尺寸宜符合表6.2.3-2的规定；表6.2.3-2 华夫板截面的最小尺寸

8.防微震vc-c

次梁高跨比主梁高跨比板厚（mm）板开洞直径d（mm）1/101/8180300        5)采用钢框架-组合楼板结构的防微振工艺设备层平台，次梁间距不宜大于3.2m，钢梁、组合楼板截面的最小尺寸宜符合表6.2.3-3的规定；

9.芯片厂房防微振

表6.2.3-3 钢梁、组合楼板截面的最小尺寸次梁高跨比主梁高跨比板厚（mm）1/181/12250        6)防微振工艺设备层平台华夫板的开孔率应满足洁净设计要求，不宜大于30％    3 当采用混凝土结构的建筑物超长时，。

10.防微振机台

不宜设置伸缩缝，而应采用超长混凝土结构无缝设计技术，并应采取降低温度伸缩应力的措施    4 根据防微振需要，可在平台下的部分柱间设置钢筋混凝土防微振墙，墙体宜纵横向对称布置，厚度不宜小于250mm，墙体不宜开设孔洞。

    5 当屋盖多跨结构的中柱与工艺设备层平台之间设缝时，在非地震区，缝宽不应小于50mm；在地震区，缝宽不应小于100mm，且应符合现行国家标准《建筑抗震设计规范》GB 50011中防震缝的有关规定。

6.2.4 精密设备及仪器的独立基础设计应符合下列要求：    1 地面上设置的精密设备及仪器，基础底面应置于坚硬土层或基岩上其他地质情况下，应采用桩基础或人工处理复合地基；    2 精密设备及仪器受中低频振动影响敏感时，基础周围可不设隔振沟；。

    3 精密设备及仪器的基台采用框架式支承时，宜采用钢筋混凝土框架，台板宜采用型钢混凝土结构，其周边应设隔振缝；    4 工艺设备层平台上设置的精密设备或仪器宜采用防微振基台，台板宜采用型钢混凝土结构，厚度不宜小于200mm。

7.1.1  有抗微振要求的多层厂房，设备的布置应符合下列规定∶（1）厂房中有强烈振动的设备或对振动很敏感的设备和仪器宜布置在厂房底层；（2）厂房中有较大振动的设备或对振动敏感的设备和仪器，宜靠近承重墙、框架梁及柱等楼盖局部刚度较大的部位布置；。

（3）厂房内同时布置有较大振动的设备和对搬动敏感的设备、仪器时，宜分类集中，分区布置，并利用厂房变形缝分隔；（4）对振动敏感的设备和仪器，应远离有较大振动的设备；（5）厂房中有水平扰力较大的设备的，宜使其扰力方向与厂房结构水平刚度较大的方向一致。

7.1.2  多层厂房中设有对振动敏感的设备和仪器时，不宜设置吊车7.3.5  厂房底层设有强烈振动的设备时，应设置独立基础，并应与厂房基础脱开二、计算要求按照厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93相关规定进行自振频率及竖向振动加速度验算。

三、构造要求1、砌体结构通用规范 GB 55007-2021中关于存在振动时结构中砌体相关规定3.2.9、下列部位或环境中的填充墙不应使用轻骨料混凝土小型空心砌块或蒸压加气混凝土砌块砌体：1建（构）筑物防潮层以下墙体；

2长期浸水或化学侵蚀环境；3砌体表面温度高于80℃的部位；4长期处于有振动源环境的墙体4.2.5、厂房、仓库、食堂筹空旷单层房屋应按下列规定设置圈梁：1砖砌体结构房屋，檐口标高为5m~8m时，应在檐口标高处设置一道圈梁，檐口标高大于8m时，应增加设置数量；。

2砌块及料石砌体结构房屋，檐口标高为4m～5m时，应在檐口标高处设置一道圈梁，檐口标高大于5m时，应增加设置数量；3对有吊车或较大振动设备的单层工业房屋，当未采取有效的隔振措施时，除应在檐口或窗顶标高处设置现浇混凝土圈梁外，尚应增加设置数量

。参考文献电子工业防微振工程技术规范 GB 51076-2015厂房楼盖抗微振设计规范GB50190-93动力机器基础设计规范GB50040-96砌体结构通用规范 GB 55007-2021

1．引言近年来高科技产业在国内经济发展上有着举足轻重的作用，半导体晶片、TFT-LCD平面显示等大型的厂房也在国内不断的兴建，规模也在不断的扩大随着各种高科技产业制程越来越精密，相关的仪器设备对于环境振动隔离的要求也越来越严格。

在半导体产业有许多设备都必须考虑降低环境振动，如检验设备SEM、SPM、TEM、曝光设备scanner、stepper、椭圆偏光仪等等，几乎每一台设备都需要安装隔振系统正因为如此，洁净室工艺设备防微振平台施工显现的尤为重要。

2．工法特点2.1 需要设立防微振动平台的设备是比较精密的设备，一般放置在洁净室内，施工作业时需要注意安全、清洁；本工法采用材料均为钢结构，不易产尘，从长期使用角度讲有利于洁净度的保持2.2 随着生产工艺的不断提高，生产设备对其基础的振动要求也越来越高，厂房内的活动地板已经不能满足，需要安装隔振系统。

防微振动平台的设立，解决了这个问题2.3 由于平台与厂房内的活动地板是相隔开的，大大堵隔了除设备本身以外的其他振动，减少了环境振动对设备的影响，使得生产能够平稳高效的运行因而防微振动平台也被形象得称为独立基础。

2.4 钢平台的施工相对其他平台而言，施工周期比较短，安装比较简单，能更早地使生产设备投入生产拿混凝土平台做对比，其安装时间一般在4~6周，而钢平台的安装周期一般在2~3周，施工的时间上缩短了一半而且钢平台在厂房内运输时为散件，无需整件运输，相对比较安全，减少更为复杂的安全保护措施。

3．适用范围适用于经过调试并已经具备一定洁净度等级的洁净厂房内，对基础有一定微振动要求的设备4．工艺原理将平台设立在地面或者格栅板上，与原有的活动地板分离，使之不与活动地板相互传递振动，阻隔相邻设备所产生的防微振。

通过自身的结构构造，将防微振动控制在振动规范或设备对基础的要求之内，能够独立吸收来自设备本身运作产生的振动的能量，避免洁净室建筑结构（比如楼板、梁等）所产生的防微振动对其产生影响5．施工工艺流程及操作方法

5.1施工工艺流程施工前期准备→确定设备以及平台安装位置→平台加工→平台搬运及组装→平台试验5.2操作方法5.2.1施工前准备施工前的准备工作尤为重要，他关系到后面的安装的精确程度施工前对图纸进行认真解读和审核，防微振动平台一般采用不锈钢材料和镀锌材料制作。

对加工件的要求很高，要求加工件精确到位，这样才能保证安装的一次性完成具体作业流程如图5.2.1所示

施工中应该注意以下几点：根据平台大小、安装精度、劳动强度来配备所需人员，并理清楚个人员之间的劳作关系，制定组织结构，明确工作的内容和责任针对平台安装进行技术交底，对进入洁净厂房施工作业的人员进行洁净室施工作业培训、安全教育。

人员配置完成后，分解图纸，统一规划需要加工的零部件比较多，将图纸上的零部件编号根据图纸，配置所需的机具，要使用大型加工机具的（如：电子数控机床等），需与相应的协作单位联络，确定加工周期组装件连接方式尽可能以螺丝连接为主，因为洁净厂房内一般不采用焊接作业，而且洁净厂房里面设备比较多，整件不易搬运。

 5.2.2确定设备以及平台安装位置在前期的准备工作完成后，班组作业人员需要到洁净室内与工艺设备工程师一起确定设备的位置，并将平台的相对应的位置确定好，并做好标示再将确定的位置用线锤反到地面或者格栅网板（也有称华夫板）上（如图。

5.2.2-1所示），做好标示。再右平台的位置确定平台立柱的位置，并核实其位置可使立柱稳固。

设备位置的确定以及反线的精确度要求控制在±1mm内，精度控制的越好，安装就会越准确。

作业中还应该注意，要遵守洁净厂房的规定，进入洁净室的材料必须是经过洁净处理的，图纸需要用洁净纸打印，并且用圆珠笔进行厂房里面的相关记录在确定平台的立柱的位置时候要注意立柱所在的位置要能够让立柱稳固，这样才能承受设备的重量和震动。

如果发现立柱的位置在格栅网板的边缘时，应该立即修改设计图纸，将所有的配件重新更改在厂房内作业是应该做好安全警示，并有人专门看守地板掀开处，防止人员掉落地板下在确定平台的搬入路径后，确定路线上的其他设备的保护措施，并提请采购材料。

5.2.3平台加工平台加工是在前期的准备工作最为重要的一道工序，如果加工件有偏差，会给后面的安装环节带来非常大的影响，甚至于不能完成安装立柱的材料一般采用镀锌钢管制作或者直接用工字钢制作，均需要精确加工。

加工流程详见图5.2.3 平台用的不锈钢钢板比较厚，而且平台上为了固定设备需要常要求加工不同形状的孔洞，所以外型的加工都是采用外加工的方法，使用大型的激光切割机进行加工需要外加工的工序还有“喷沙”和“加工件镀锌

”。因为加工件比较零散、数量较多，所以需要在加工前进行清点，并且编上一图纸一致的编号加以区别。在加工过程中，数量比较多的部件需要制作模板，批量加工，提高加工的时效。

5.2.4平台搬运及组装平台组装是在洁净室内操作完成，且要跟平台的加工材料的搬运相互配合，即搬运为了组装服务，而不是一味地将所有的材料搬运到洁净厂房内堆积起来搬运之前将搬运通道上的设备、壁板等用预先准备好的铝板或者不锈钢板保护起来，避免搬运过程中对现有洁净设备和生产设备的损坏。

平台组装区域预先用洁净塑料布与其他区域隔断，尽可能将施工过程中对原有洁净度的损害降到最低拆除原来的活动地板，保留地板的横担或者工字钢，不破坏原有活动地板的整体性和强度将拆除的活动地板摆放整齐，不能损坏将反线下来的平台的立柱线打孔，打孔时会产生灰尘，需要边打孔边用吸尘器将产生的灰尘吸除，避免污染厂房内的洁净环境。

在打好的孔内灌入AB胶，粘上底座粘接方法如图5.2.4-1所示安装时，先固定中间的螺丝，使用水平尺将水平调整好，然后加灌AB胶，固化固化时间需要12小时左右，其间需要间隔2小时检查一次底座的水平度

待AB胶固化完成后，在底座上安装立柱，连接方式为丝扣连接所有的立柱的高度必须一致，即安装是使用经纬仪调整标高，误差控制在±0.5mm在立柱上安装工字钢工字钢共分为两层，呈井字型布置洁净厂房内不允许焊接操作，工字钢与立柱连接、工字钢与工字钢连接均为连接件连接，不采用焊接连接。

安装完成后用水平尺复核水平度注意，第二层工字钢的高度要大于活动地板原有横担或者工子钢，使平台与原有的活动地板分开；工字钢的长度要长于不锈钢板，有利与钢板的稳固，便于斜拉的安装；长出的工字钢在与原活动地板交叉处必须切口，保证其与原地板不接触。

安装不锈钢板不锈钢板比较大，运输中一定要注意平稳，并做好地板、壁板和设备的保护措施在工子钢中部涂抹适量AB胶，在AB胶凝固之前上不锈钢板不锈钢板与工字钢的连接采用螺丝的连接方式，连接必须紧固用水平尺复核水平度。

将拆除的活动地板恢复在洁净室内将需要加工的地板量好尺寸，并做好标识将地板取出洁净室，切割成需要的大小，去除毛刺经过洁净处理后，安装地板，地板与平台的不锈钢板的间距控制在10mm为宜使用斜拉加工立柱为了保证抗振效果以及立柱的牢固，需要在立柱上加设斜拉。

两侧的斜拉一端与工字钢连接件连接，一端以螺丝连接的方式连接在粘接于地面或者格栅网板的立柱底座上（与立柱连接同样的方法）中间段的斜拉一端固定在第一层工字钢上，一端固定在立柱低部斜拉以纵向、横向相互配合来加固，用以消除各个方向的水平振动。

5.2.5振动试验振动试验主要分三次试验：环境防微振动试验、人员步行试验和动态刚度试验。测试规范如表1所示

需要说明的是：测试是以1/3的频谱分析频宽8~100HZ的振动植（dB值的参考速度值为10-6in/sec加工尺寸是参考电子制造业的线宽、医学和药学研究的粒子或者细胞尺寸等，所列数值是药学研究和精密设备的振动观察值。

本规范只是对一般设备的防微振动要求作参考，精密设备一般自身会对振动有要求5.2.6劳动力组织（见表2）

6．材料与设备本工法所使用的材料均为不锈钢材料，或者是镀锌材料，必须满足国标和设计要求，有出厂合格证及相关证明文件不锈钢钢板，SUS304，要求整张切割，外型尺寸根据设备的大小而定要求板材平整，表面无油，周边无毛刺。

满足设计及规范要求，有出厂合格证及相关证明文件镀锌工字钢（或者镀锌钢管）及多孔角钢，镀锌表面无划痕满足设计及规范要求，有出厂合格证及相关证明文件连接件，全部镀锌处理，要求锌层匀称无划痕，无油污采购的加工板材有出厂合格证及相关证明文件。

AB胶，为混合用胶，分为主剂和固化胶，按照使用说明的比例进行混合，凝固时间8~12小时。产品需提供出厂合格证及相关证明文件。其他材料为常用资材，不作说明。使用的机具设备见表3 

7．质量控制7.1使用的材料要符合设计要求和《洁净厂房设计规范》GB50073-2001、《洁净室施工及验收规范》JGJ71-90、《建筑工程施工质量验收统一标准》 GB50300—2001等防微振动平台制作和安装过程中允许偏差如表。

4所列

 7.2质量保证措施 7.2.1材料采购过程中要严格检查，所有投入施工的材料，均应按图纸及有关文件要求对材料的标识、名称、材质、型号、规格、数量等进行验证，防止误用未经检验或经检验不合格以及不符合图纸要求的其它材料、配件。

 7.2.2加工件制作过程中质检员要全程监控，对加工件进行全数检查，对不合格件进行排查，并做好记录，确保所有的加工件均为合格产品； 7.2.3板材外加工需要长距离运输，在运输前要做好保护措施，在钢板下面用软性材料垫撑，确保板材不会因为受外力不均匀导致变形；

 7.2.4安装是自下而上，层层核实检查，达标后方进行下道工序施工作业，上道工序不合格不能转入下道工序抓住关键工序的作业，保证施工质量，如AB胶粘接底座、工字钢安装、不锈钢板安装等施工中合理安排，材料堆放整齐。

7.2.5严格对施工机械和检测仪器、测试设备、计量器具的使用与管理制度，所有投入施工的设备应事先做好维护、保养及性能试验工作，使设备以良好的使用性能和工作质量来保证质量各种检测仪器及器具应检验合格，以保证检测仪器。

测试设备和计量器具数据正确无误8．安全措施8.1认真贯彻“安全第一，预防为主”的方针，严格教育、管理和监督机制，切实做到安全生产对每个员工进行安全教育，保证全体员工针对平台施工的安全知识、安全意识和观念，确保安全管理的有效执行；。

8.2对所有的施工机具进行安全审查，挂牌作业专业机具张贴安全操作规程，杜绝不正当操作临时用电严格按照《施工现场临时用电安全技术规范》的有关规定执行检查施工电源线，确认无误方可带进洁净室内使用，并与业主确定电源的插口。

8.3施工作业中，做好安全警示开地板作业做好维护，特别是长时间施工点，挂好安全警示牌材料堆放点张贴安全警示标语8.4洁净室内手持照明使用36V安全电压9．环境控制9．1加工场地环境控制9.1.1 加工场地指定废料堆场，用瓦楞板维护，作为加工废料的堆场，废料统一处理；

9.1.2 加工场实行卫生值日制度，每天四人轮流值日，工作内容包括场地清洁和物料整理；9.1.3在加工场临时堆放的待加工物料需按类堆放整齐；9.1.4 加工场用电必须遵守有关工地用电的安全章程和审批手续；

9．2施工现场环境控制9.2.1 施工现场的环境管理归口EHS部门；严格遵守各项管理和规章制度，按程序办事洁净室内施工需严格遵守洁净室施工作业规章；9.2.2 做到工完料尽施工班组配备清扫工具，下班前将施工现场进行清扫，施工产生的废料和垃圾运至指定地点；。

9.2.3洁净室内施工容易产生灰尘，需要做隔断处理10．结论10.1本平台采用了钢结构形式，材料均采用常用的不锈钢和镀锌材料，采用了数控机床进行精确加工，以及新型AB胶固定立柱等新工艺，使得工程的加工精度和安装水平得到提升，填补了国内安装企业在该领域的空白。

10.2防微振动平台的安装有消得控制了基础自身以及从其他设备或人员等产生的振动，使设备在其允许的振动要求下运行，使产品的合格率大大提高10.3从结构形式上讲，钢结构的形式相对于其他形式，如混凝土平台而言，无须大量采用化学用品，避免了化学品的处理环节，更加环保。

平台可以散件现场组装，减少安装的难度，相对更加安全平台全部采用连接件连接，拆卸比较方便，且拆除后可以进行再组装，比较灵活10.4工期比较短，比较其他平台（如混凝土平台）的施工，工期可以缩短一半，人力资源的投资比较少，降低了工程的人工成本。

由于节省了安装时间，设备能及早的调试运行，带来显著的经济效益1 某微电子厂房概况浙江金华某两层微电子厂房，上部结构于2011年上半年施工完毕，一层层高7m，地坪还未施工要求在地面上安装10台高精密步进光刻机，光刻机厂家要求周围地面振动对基础的影响：竖向振幅≤3μm，振动速度≤0.1mm/s，外界干扰频率在4hz～25hz时振动加速度≤4×10-3～8×10-3m/s2。

厂房地基土层情况如下：场地属丘陵地貌经人工填平后，东高西低①层碎石填土，层厚1.2-10.5m，松散状，稍湿，由风化岩碎块石夹少量粘性土，为新进堆填，未经分层压实和自重固结②层粉质粘性，层厚0.4-3.1m，中压缩性。

③层强风化泥质粉砂岩，层厚4-8.5m，为极软岩④层中风化泥质粉砂岩，层厚0.2-1.5m，为软岩厂房四周为厂区道路，常有汽车等行驶地下水位在地面5m以下，老厂房柱下采用人工挖孔灌注桩基础，桩端持力层为。

④层中风化泥质粉砂岩，承台底标高-2.2m2 桩基用于防微振设计的分析研究本次光刻机基础设计时，乃是考虑采用桩基直接用于防微振，且为考虑桩土共同作用的一个新尝试与用钢弹簧隔振相比，基础块体增大不多，但省去弹簧和放置隔振系统的钢筋混凝土地坑，总费用减少很多，且施工简单，以后无维修及更换烦恼。

3 光刻机基础防微振设计的原理光刻机基础防微振设计首先应尽量通过总体工艺流程与平面布置，对振源采取有效的主动隔振措施，使它的干扰影响尽量小为避免共振，应根据场地的工程地质情况与周围有影响的振源振动情况，对地基进行有效、合理的处理，以提高防微振设备基础体系的竖向抗压刚度，使体系的固有频率适度地超过周围已有及将来可能会有的振源的强迫振动频率[4]。

另外，根据振源振动对于地层的干扰，以及振动波的能量在土中传播衰减后对基础振动体系的干扰，采取有效的被动隔振措施，使光刻机基础底座竖向振幅小于允许值，振动速度最大值小于允许值，以及在一定外界干扰频率范围内的振动加速度最大值小于允许值[5]。

本工程动力模型中，将承台及其上光刻机看作一个质量为m的刚体[6]，将桩基及其间土层看作没有质量的弹簧，简化为研究支承在弹簧上刚体的振动问题，弹簧的刚度即桩基及其间土层的竖向抗压刚度，底座即桩端以下的④层土。

底座的振动是由于附近振源的振动能量在土中传播至底座引起的，由于桩基及其间土层整体刚度较大，因此经土层衰减传播来的能量干扰影响很小，引起它发生的振动也是很小的4 光刻机基础防微振设计10台高精密步进光刻机，其基础做成独立的、与周围地面完全脱开的、由群桩支承的整板式钢筋混凝土基础。

这主要根据地质情况、周围振源的振动干扰情况、地面使用荷载、机器与仪器的底座允许最大振幅很小（3μm）而确定的桩型、桩持力层、桩断面尺寸、单桩承载力试验、布桩原则同一般桩在确定桩数时，必须确保防微振设备基础体系的固有频率一定要适度超过周围已有振源和将来可能会有振源的强迫振动频率，不发生共振现象，同时必须满足基础沉降均匀。

根据工艺平面布局，每台步进光刻机外形尺寸2500（长）×2000（宽）×3000（高），单台总重5200kg最终采用的由群桩支承的整板式钢筋混凝土基础，其整板厚度1000mm， c25混凝土，整板下总计10根900直径的c25挖孔灌注桩。

整板基础四周设置300mm宽减振沟内填中粗砂，整板基础与建筑地坪设缝50mm脱开5 防微振基础的现场测试防微振工程的测试应分四次进行[7]10台光刻机基础于2011年下半年施工完毕后，请当地地震局专家到现场测试，结果表明光刻机底座的振幅小于允许振幅，振动速度最大值小于允许值，以及在一定外界干扰频率范围内的振动加速度最大值小于允许值。

光刻机安装后运行正常，说明设计是成功的6 结束语1、光刻机防微振基础宜安置在直接与地基土接触的底层，应做成独立的、周围与地面完全脱开的整板式基础，本文采用桩基直接用于防微振基础设计，是一新尝试，已获成功，今后似可推广应用。

2、光刻机防微振基础设计最关键的问题是确保不发生共振现象，通过主动隔振和被动隔振等措施，尽量减小周围振动的干扰3、由于场地周围振源振动干扰的复杂性及其在土中传播衰减的不规则性，目前部分计算公式为较近似的，或半经验半理论的。

因此，光刻机防微振基础设计主要依靠的是概念设计、现场测试以及工程实践经验欢迎您加入洁净厂房设计和施工俱乐部学习交流互动社区该公众号的意义在于：倒逼自己输出，强迫自己成长；我追求每天成长一点点，如果你认可。

我们一起携手同行！我是小陈，在成为大神的路上努力着！如果您觉得本微信公众号对你帮助很大的话，那就赶紧和同事分享关注吧，您的关注，是我们不断更新的动力!欲得知更多此类信息，可关注公众号，如果您有洁净厂房设计、

建设和运行方面的问题，也可以直接加我微信号:13437107406,还可以发送邮件至343137830@qq.com共同探讨，共同进步欢迎您加入洁净厂房设计和施工俱乐部学习交流社区

行业万人群通讯录

洁净厂房设计和施工俱乐部专业为洁净室行业各类企业提供各类服务我们现在的业务：1.提供各类技术咨询服务（含可行性研究报告、安全设施设计专篇、职业卫生设施设计专篇、方案设计、施工图设计、方案优化、施工图优化、BIM、工程预算造价、工程定额清单编制、标书制作、洁净度温湿度不达标等相关技术咨询、建筑结构水暖电等各专业疑难杂症等技术咨询）

2.各网络平台、微信推广、公众号推广、视频号推广、品牌市场推广、广告代理等服务3.人员招聘广告投放4.工程项目人员团队技术支持技术咨询5.定期俱乐部线下会议举办会议招商6.EPC/总包/专业分包/设备/材料供应商推荐。

加我个人微信号：13437107406，拉你进洁净厂房设计和施工俱乐部各专业微信群。

方钉百科